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昊华科技子公司黎明院生产的高纯含氟电子气体国产化成
发布日期:2020-06-18 06:28   来源:未知   阅读:

昊华科技(600378)子公司黎明化工研究设计院有限责任公司生产的‘高纯四氟化碳和六氟化硫研发与中试’子项目通过了国家科技重大专项“极大规模集成电路制造装备与成套工艺”的现场测试与评审。国家重大专项项目组专项办公室责任专家马振宇教授表示,这标志着极大规模集成电路行业用高纯度四氟化碳和六氟化硫电子气体实现了国产化。据悉,目前相关产品已提交客户使用,市场应用效果良好。

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